マスクレス露光装置 マイクロライターML family
マスクレスで少量のパターンの試作を手早く可能にするML3 Baby。パターン作製時に、毎回必要なマスク作製の手間を省きます。
物性測定
表面解析
バイオ＆ライフサイエンス
光学クライオスタット/低温物性
リソグラフィー/単結晶製造
ヘリウムリカバリー
産業分野
ドイツALLRESIST社は最高クラスのコントラスト性能・感度を持ち合わせた最新の電子線レジスト「CSAR62」など各種電子線レジスト、フォトレジスト、リソグラフィー関連材料を開発、製造しております。
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高解像度、プロセス安定（非化学増幅）レジスト、Mix ＆Matchプロセス用、120℃まで安定
高解像度・高感度レジスト、Mix ＆Matchに対応、140℃までの熱安定性
Mix ＆Matchプロセス用高解像度レジスト、高精度エッジ用、140℃までの熱安定性
集積回路製造用高精細電子線レジスト
回折光学系製造用高分解能電子ビームレジスト
実験用サンプル / 特注品
実験用サンプル / 特注品
最高解像度ナノメートルリソグラフィー用レジスト
集積回路製造・マスク用高コントラスト電子線レジスト
集積回路製造・マスク用PMMAレジストシリーズ50K～950K
集積回路製造・マスク用PMMAレジストシリーズ50K～950K
集積回路製造・マスク用PMMAレジストシリーズ50K～950K
集積回路製造・マスク用PMMAレジストシリーズ50K～950K
集積回路製造・マスク用PMMAレジストシリーズ50K～950K
微細部品製造用厚膜ポジ型レジスト
集積回路製造・マスク用PMMAレジストシリーズ50K～950K
集積回路製造・マスク用PMMAレジストシリーズ50K～950K
集積回路製造・マスク用PMMAレジストシリーズ50K～950K
集積回路製造・マスク用PMMAレジストシリーズ50K～950K
集積回路製造・マスク用PMMAレジストシリーズ50K～950K
集積回路製造・マスク用PMMAレジストシリーズ50K～950K
集積回路製造・ホログラフィック構造用の高コントラスト熱可塑性レジスト
様々な用途ですぐに使えるポジ型・ネガ型スプレーレジスト
様々な用途ですぐに使えるポジ型・ネガ型スプレーレジスト
集積回路製造用高感度ネガ型レジスト
電解めっき、マイクロシステム技術、LIGA用厚膜ネガレジスト(20µm以下)
電解めっき、マイクロシステム技術、LIGA用厚膜ネガレジスト(20µm以下)
電解めっき、マイクロシステム技術、LIGA用厚膜ネガレジスト(50µm以上)
電解めっき、マイクロシステム技術、LIGA用厚膜ネガレジスト(50µm以上)
電解めっき、マイクロシステム技術、LIGA用厚膜ネガレジスト(50µm以上)
電解めっき、マイクロシステム技術、LIGA用厚膜ネガレジスト(20µm以下)
様々な用途ですぐに使えるポジ型・ネガ型スプレーレジスト
様々な用途ですぐに使えるポジ型・ネガ型スプレーレジスト
様々な用途ですぐに使えるポジ型・ネガ型スプレーレジスト
マスクや微細分割の製造に適した密着性向上型ポジ型レジスト
マスクや微細分割の製造に適した密着性向上型ポジ型レジスト
マスクや微細分割の製造に適した密着性向上型ポジ型レジスト
電解めっきおよびマイクロシステム技術用厚膜ポジ型レジスト
電解めっきおよびマイクロシステム技術用厚膜ポジ型レジスト
電解めっきおよびマイクロシステム技術用厚膜ポジ型レジスト
集積回路製造用高感度ポジトーン標準レジスト
集積回路製造用高感度ポジトーン標準レジスト
集積回路製造用高感度ポジトーン標準レジスト
集積回路製造用高感度ポジトーン標準レジスト
集積回路製造用高感度ポジトーン標準レジスト
蒸着サンプル作成用高感度ポジトーンレジスト
蒸着サンプル作成用高感度ポジトーンレジスト
300 ℃までの高温用ポジ型フォトレジスト
シリコンの深層構造製造のための前面エッチング時のウェーハ裏面保護
非ノボラック系電子ビームレジスト用導電性保護膜、絶縁基板上の電子ビーム電荷放散用トップ層用
絶縁基板上の電子ビーム電荷放散用トップ層用
ウェーハ裏面保護用の耐KOH、耐HF保護膜
シリコンの深層構造製造のための前面エッチング時のウェーハ裏面保護
光学的透明で耐熱性構造のためのポジ型・ネガ型レジスト
光学的透明で耐熱性構造のためのポジ型・ネガ型レジスト
ノボラック系電子線レジストおよびフォトレジスト膜用現像液
ノボラック系電子線レジストおよびフォトレジスト膜用現像液
ノボラック系電子線レジストおよびフォトレジスト膜用現像液
ノボラック系電子線レジストおよびフォトレジスト膜用現像液
ノボラック系電子線レジストおよびフォトレジスト膜用現像液
ノボラック系電子線レジストおよびフォトレジスト膜用現像液
電子線レジスト膜用現像液
電子線レジスト膜用現像液
電子線レジスト膜用現像液
電子線レジスト膜用現像液
電子線レジスト膜用現像液
電子線レジスト膜用現像液
テンパリングされた電子線レジストやフォトレジスト膜用剥離液
テンパリングされた電子線レジストやフォトレジスト膜用剥離液
テンパリングされた電子線レジストやフォトレジスト膜用剥離液
テンパリングされた電子線レジストやフォトレジスト膜用剥離液
テンパリングされた電子線レジストやフォトレジスト膜用剥離液
電子線レジスト、フォトレジストの接着力向上用
電子線レジスト、フォトレジストの接着力向上用
電子線レジストおよびフォトレジストの膜厚調整用
電子線レジストおよびフォトレジストの膜厚調整用
電子線レジストおよびフォトレジストの膜厚調整用
電子線レジストおよびフォトレジストの膜厚調整用
電子線レジスト膜の現像液用ストッパー
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