コンパクト原子間力顕微鏡 NaioAFM
大学や専門学校におけるナノテクノロジー教育や、研究開発または品質管理の現場で、表面形状を短時間に簡潔に測定したいユーザーに最適な装置です。
物性測定
表面解析
バイオ&ライフサイエンス
光学クライオスタット/低温物性
リソグラフィー/単結晶製造
産業分野
Nanosurfは、大型で重量のあるサンプル用のカスタム開発システムのマーケットリーダーです。
過去数年にわたり、当社のチームは、様々なお客様のためにこれらのカスタムステージを開発してきた豊富な知識ベースを構築してきました。
この膨大な知識を活かし、300mmウェハーなどの大型サンプル・45kgまでの重量物サンプルに対応したスタンダードなシステムを開発しました。
業界最高クラスのZ測定ノイズレベル=25pm RMS(最大 35pm)を実現し、安定性と妥協のない性能をご提供できます。
Alphacen 300は、さまざまな要素を規格化することによって、カスタムシステムに比べて高いコストパフォーマンスと納期の短縮を実現しています。
Alphacen 300 は、採用されたエアベアリング機構により、最大 45 kg までのサンプルを摩擦なく2 µm の再位置決め精度で移動させることができます。このような正確な位置決めはシリコンウェハーなど検査に必要とされる性能です。サンプルステージは、圧縮空気または窒素ガスを使用して持ち上げられ、高精度のベルトで任意の場所に移動されます。目的のスキャン位置に到達したらガス圧を解放し、試料をステージのドリフトなしに測定可能な位置に移動させます。スキャニングにはチップスキャン技術を採用しており、可動部の小型軽量化を実現しています。
Alphacen 300には強力な自動化ソフトウェアが含まれており、ユーザーは光学画像またはステージマップ上の目的の場所を事前に選択することができ、ユーザーの介入なしでシステムに画像を収集させることができます。サンプル(または複数のサンプル)の測定シークエンスを設定して、あとはシステムにお任せください。
Alphacen 300は、XY方向に300mm×300mmの移動が可能なサンプルステージを持ち、300mmのサンプルの全点を測定することができます。ご要望に応じて、ステージを変更してより広いXY範囲の(最大500mm)にも対応することができます。
XYステージの分解能は1μm、位置決め精度は2μmで、イメージングチップの下でサンプルを正確に位置決めすることができます。また、ソフトウェアには自動化機能が組み込まれており、測定シークエンスをプログラミングする手間が省けます。
(右)SiCステップ XY=1.5µm:ステップ間は1.5nmの高さを表しています。また、ステップ間にある小さなステップは0.75nmの高さを表しています。
ほとんどの大型サンプルAFMは200mmまでの平面サンプルを扱うことができ、一般的には半導体ウェハーの分析を目的としています。しかし、これらのシステムの限界の一つは、扱うことができるサンプルの重量です。
Alphacen 300は、大型で最大45kgまでの重量のあるサンプルを撮像できる標準的なAFMのニーズに対応しています。また、Zステージの移動量が50mmであるため、AFMイメージングできるのは薄いシリコンウェーハに限りません。
厚みがあるだけでなく、湾曲した平坦でない重いサンプルは、次のようなフィールドで見られます。
・光学産業における大型レンズの製造(Alphacenは、凸型・凹型いずれの形状にも対応)
・半導体産業における組立カセット、完成品の製造
AFMでしか到達できないサブナノスケール分解能で表面を評価することによって、これまで光学的に得られなかった表面の評価や欠陥の発見が可能になります。
(右)ガラス表面 XY=5µm:表面粗さ 0.112nm RMS(0.087nm Ra)
Alphacen 300システムは、その小さなフットプリントながら高分解能イメージングを実現するための要素がパッケージされています。そのため、設置場所を柔軟に選択することができ、すぐに稼働開始できます。
安定なグラナイトステージはアクティブ防振台に固定されており、広い周波数帯域で建物や床面からの振動を抑制します。また、空気振動は防音エンクロージャにより外部から遮断できます。カスタムソリューションで得られた種々の技術や経験によって、大型サンプル表面の100pmオーダーのラフネスが測定できる分解能が実現できたのです。
300mmウェハーを簡単に設置するための真空チャックを搭載できます。真空チャックと精密ステージの組み合わせにより、再現性の高い確実なサンプルホールドができます。
カンチレバーホルダーの交換も自動化が可能です。
カンチレバーを自由に選択できるので、幅広い研究・サンプルにも対応できます。
目的とするクリーンルームのクラスに合わせた製造工程をご提案可能です。
Gwyddionは、SPM解析に用いられるポピュラーなツールです。使い方は、以下の資料をご覧ください。
仕様は別途お問合せください。
Nanosurf Alphacen300 ウェビナー
大学や専門学校におけるナノテクノロジー教育や、研究開発または品質管理の現場で、表面形状を短時間に簡潔に測定したいユーザーに最適な装置です。
極限まで小さな世界、原子像を可視化できる走査型トンネル顕微鏡(STM)は、1981年にスイスのIBM研究センターでBinnigとRohrerによって開発されました。
CoreAFMは、あらゆる測定が可能かつ簡便な操作を両立させるために、必要なコア要素をコンパクトに集約しました。
Nanosurfの新しいフラッグシップ装置であるDriveAFMは、最新の技術を駆使し、高い安定性と性能を実現しています。
アクティブ防振台IsoStageは、装置へ伝わる振動をピエゾセンサで検知し、6自由度(3軸)のアクチュエータで天板を駆動して動きをキャンセルして制震します。
AFM測定を行う必要があるが、サンプルが大きく特別な取り扱いが必要だったり、従来の技術や方法とは異なる実験が必要ではありませんか?
LensAFMは、光学顕微鏡や形状解析顕微鏡のレボルバーにそのまま取り付けられるAFMです。まるで倍率を切り替えるように光学観察とAFM測定を行うことができます。
大きなサンプルを破壊せずにそのまま測定したり、傾きのあるサンプルに合わせて測定したい場合には、カスタムAFMによるソリューションをご提案します。
FlexAFMは、これまでのAFMの中でも最も多機能で柔軟なシステムで、用意にさまざまなアプリケーションを可能にします。
FlexAFMは、これまでのAFMの中でも最も多機能で柔軟なシステムで、用意にさまざまなアプリケーションを可能にします。
業界標準のMountains®技術のインタラクティブ性をそのままに、SPIP™(Image Metrology)が誇るすべての分析ツールを引き継いでいます。
カンチレバーの反りを電気的に直接測定することができるマイクロカンチレバーです。
カンチレバーの反りを電気的に直接測定することができるマイクロカンチレバーです。
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