赤外線加熱単結晶育成システム(IRF)

製品情報

赤外線加熱単結晶育成システム(IRF)

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棒状に焼き固めた粉末試料を、2つのハロゲンランプと双楕円鏡で集光加熱して試料を溶解し、高純度の単結晶を育成する装置です。

特長

高純度単結晶

フローティングゾーン(FZ)方式により、不純物の混入しない純度の高い単結晶を得ることができます。

温度均一性

溶融帯を長時間安定して維持するために、ランプ・反射鏡の計上を設計しており、軸方向に最適な温度勾配ができております。

高い操作性

本体据付のタッチパネルで全ての操作が可能、リアルタイムに単結晶の育成を観察することができます。

空冷式

空冷コンプレッサー内蔵により、チラー・冷却水は一切不要です。

赤外線加熱単結晶育成システム オプション

プレスユニット

原料棒を成形するための油圧式プレスユニット


リモートコントロール用ノートパソコン

ノートパソコンを使用しての遠隔操作が可能となります

仕様

型式 双楕円型 四楕円型
ランプ 2
タイプ ハロゲンランプ
ランプ出力  650 W ×2個  800 W ×4 個
冷却方式 空冷式
ランプ出力安定度 出力電圧変動:±0.01%(入力電圧±10%に対して)
到達温度 溶融帯温度 2100℃(φ4mm) 2100℃(φ6mm)
主軸制御 単結晶育成サイズ 最大 150mm×φ6mm 最大 150mm×φ12mm
駆動方式 上下独立
その他 制御方法 タッチパネル
モニタリング CCDカメラでのリアルタイム観察可能
寸法 W:800 mm × D:900 mm × H:1750 mm W:800 mm × D:900 mm × H:1800 mm
重量 430 kg 480 kg
電源 単相200V,20A

詳細はお問い合わせください。

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