散乱型近接場光顕微鏡 neaSCOPE+s

製品情報

散乱型近接場光顕微鏡 neaSCOPE+s

neaSCOPE+sは原子間力顕微鏡(AFM)と可視光からテラヘルツ波長域までのレーザ光源/検出器を組み合わせた装置で、AFMによる高分解能の構造・機械物性情報と同時に、10nmに迫る高空間分解能で多種多様な分光測定が可能です。
さらに極低温への対応や、ポンププローブによるフェムト秒分光法など様々なモジュール拡張が可能です。
・AFMによるトポグラフィー、表面電位、弾性率測定
・可視光～赤外～テラヘルツ波領域での
　吸収/反射イメージングおよびスペクトル測定
・cryoシステムによる極低温下での測定
・ポンププローブ法による高速分光法

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散乱型近接場光顕微鏡 neaSCOPE+s 特徴

可視光～赤外光～THz光まで

散乱型近接場光顕微鏡neaSCOPEでは、可視光から赤外光、そしてテラヘルツ光まで非常に幅広い光源に対応しています。

搭載できる光源の波長の一例として

可視光単一波長光源：532nm、632nm、785nm

赤外波長可変光源：3.6-11.8μm　(850cm^-1～2700cm^-1)

OPOレーザー波長可変光源：1.4-18.4μm　(540cm^-1～7140cm^-1)

ブロードバンド光源：2.4-4.2μm、4.6-15.4μm

ブロードバンドTHｚ光源：0.1-3.0THz

などが搭載可能です。

THz光源を用いた測定系の模式図

OPOレーザーにより中赤外～近赤外～指紋領域にわたる広レンジを1台でカバー

OPOレーザーの波数対応範囲

OPOレーザーを用いることで非常に広い範囲の波数領域に対応可能です。

線幅は4cm-1以下で、高速掃引が可能でマッピング測定だけでなく、スペクトル測定にも対応しております。

散乱型近接場光顕微鏡の測定原理

nano-FTIR測定ではAFM探針を任意の箇所に保持した状態で一般的なFT-IRと同様にインターフェログラムを取得して解析を行います。
光源にはブロードバンド光源を用いており、任意の箇所の赤外吸収スペクトルが得られます。

Cryoオプションによる極低温下での測定

Cryoオプションを用いることで、極低温下でのnano-FTIR測定が可能となります。
10Kまでの冷却が可能で、自動で除湿しながら冷却を行います。
THz-TDSナノスコピーなどとの組み合わせも可能です。

装置構成例

neaSNOM構成

仕様表　(※一例となります。装置構成により異なります。)

AFMユニット
スキャン範囲		100μm × 100μm　(クローズドループ)
高さ方向ノイズレベル		<0.2nm (RMS)
サンプルステージ可動域(X,Y,Z)		60mm, 15mm, 8mm

光学ユニット
最多搭載可能検出器数		2
最高空間分解能		ブロードバンドレーザー、チューナブルレーザー、OPOレーザー　など
サンプルステージ可動域(X,Y,Z)		<10nm
深さ方向感度		表面から数nm～程度 (対象サンプルおよび測定条件に依存)