高出力レーザ加熱型単結晶育成装置（LFZ）
高出力レーザ（1.5kW、2kW）を用いた浮遊溶融帯方式による低融点から高融点材料の高品質単結晶を育成するシステムです。
物性測定
表面解析
バイオ＆ライフサイエンス
光学クライオスタット/低温物性
リソグラフィー/単結晶製造
産業分野
高出力レーザ（1.5kW、2kW）を用いた浮遊溶融帯方式による低融点から高融点材料の高品質単結晶を育成するシステムです。
This novel system, based on technology developed by the RIKEN CEMS (Center for Emergent Matter Science) institute in Japan, promises the opportunity to grow materials unable to be grown by more traditional floating zone methods.
マスクレスで少量のパターンの試作を手早く可能にするML3 Baby。パターン作製時に、毎回必要なマスク作製の手間を省きます。
棒状に焼き固めた粉末試料を、2つのハロゲンランプと双楕円鏡で集光加熱して試料を溶解し、高純度の単結晶を育成する装置です。
ドイツALLRESIST社は最高クラスのコントラスト性能・感度を持ち合わせた最新の電子線レジスト「CSAR62」など各種電子線レジスト、フォトレジスト、リソグラフィー関連材料を開発、製造しております。
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